北京航空航天大学微电子学院步进式光刻机NSRI11用光刻掩模版采购项目由项目负责人通过比价方式采购，现将比价过程及结果公示如下：
1. 采购名称：步进式光刻机NSRI11用光刻掩模版
2. 使用人：曹凯华
3. 采购项目负责人：林晓阳
4. 采购项目比价概况：采购项目比价概况：采购负责人充分对上述产品性能及报价信息进行了比较，确认以上报价产品符合技术要求条件下，在此基础上，选择报价最低的供应商成交。
5. 比价结果详情：
序号
| 供应商（全称）
| 供应商联系方式
| 报价（万元）
| 数量
| 主要产品情况（只填写最主要产品品牌、型号及产品性能指标）
|
品牌
| 型号
| 性能指标
|
1
| 杭州国翌科技有限公司
| 15923095353
| 6.3
| 6
| 定制
| 6025石英
| CD公差±0.1um
|
2
| 无锡中微掩模电子有限公司
| 13584186608
| 5.28
| 6
| 定制
| 6025石英
| CD≥0.5um，CD精度±0.1um
|
3
| 无锡卓越光掩模科技有限公司
| 86-510-5258972
| 6
| 6
| 定制
| 6025石英掩膜版
| CD公差±0.1um
|
确定成交结果单位：无锡中微掩模电子有限公司
确定成交报价：5.28万元
公示期从2020年06月05日起至2020年06月08日止。
各供应商或者其他利害关系人对本项目的过程及结果有异议的，可在公示期内以书面形式（包括联系人、地址、联系电话）将意见反馈至北京航空航天大学微电子学院，监督人及联系方式：梁恩和，010-82316277。
2020年06月05日
