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    北航智能微纳公共创新中心磁控溅射阴极采购公告

    发布日期:2021-04-16

    点击次数:

    1. 采购货物有关信息

    1、采购货物相关信息:

    (1)货物名称: 磁控溅射阴极

    (2)技术指标:

    序号

    货物/服务名称

    详细参数要求

    1

    磁控溅射阴极

    IONIX® -2"UHV(IX2U_8A323-05-2):

    2英寸超高真空阴极(漏率:< 1 x 10-9 mbar x l/s),工作真空范围3 x 10-3 mbar ~5 x 10-2

    mbar,标准磁场设计(磁铁可承受最高烘烤温度为200℃),带气路,烟囱,气动挡板,C100法兰集成,HN电气接线盒,靶材到基片距离在线可调,最大可调距离100mm。

    2

    磁控溅射阴极

    IONIX® -2"UHV-HS(IX2U_8A323-05-2):

    2英寸超高真空阴极(漏率:< 1 x 10-9 mbar x l/s,工作真空范围3 x 10-3 mbar ~5 x 10-2

    mbar,强磁场设计(磁铁可承受最高烘烤温度为200℃),带气路,烟囱,气动挡板,靶材到基片距离在线可调,最大可调距离100mm,C100法兰集成,HN电气接线盒。 Fe靶材厚度2~3mm,Ni,Co靶材厚度5mm。

    3

    磁控溅射阴极

    IONIX® -2"UHV(IX2U_8A303-05):

    2英寸超高真空阴极(漏率:< 1 x 10-9 mbar x l/s,工作真空范围3 x 10-3 mbar ~5 x 10-2

    mbar,标准磁场设计(磁铁可承受最高烘烤温度为200℃),带气路,烟囱,气动挡板,C100法兰集成,HN电气接线盒。

    4

    磁控溅射阴极

    IONIX® -2"UHV-HS(IX2U_8A303-05):

    2英寸超高真空阴极(漏率:< 1 x 10-9 mbar x l/s,工作真空范围3 x 10-3 mbar ~5 x 10-2

    mbar,强磁场设计(磁铁可承受最高烘烤温度为200℃),带气路,烟囱,气动挡板,C100法兰集成,HN电气接线盒。 Fe靶材厚度2~3mm,Ni,Co靶材厚度5mm。

    售后服务

    1.质量保证期为安装、调试且验收合格后壹年。在质保期内,卖方应提供免费的更换维修服务。质保期外,仅收取成本费。质保期内产品故障,卖方应在接到买方的维修通知后48小时内赶到现场。

    2.卖方在设备交货后提供终身技术服务,并提供维护和保养计划。

    (3)数量:

    序号

    产品

    数量/单位

    1

    IONIX® -2"UHV(IX2U_8A323-05-2)

    1个

    2

    IONIX® -2"UHV-HS(IX2U_8A323-05-2)

    1个

    3

    IONIX® -2"UHV(IX2U_8A303-05)

    2个

    4

    IONIX® -2"UHV-HS(IX2U_8A303-05)

    2个

    5

    安装实施服务

    1项

    (4)交货期:合同签订后100天内

    (5)交货地点:北京航空航天大学太阳集团tcy8722网站

    (6)是否接受进口产品:是

    2、采购预算(最高限价):45万

    3、参选单位资格要求:

    (1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

    (2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

    ① 具有独立承担民事责任的能力;

    ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

    ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

    (3)本项目不接受联合体响应;

    (4)本项目不允许转包、分包;

    (5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

    (6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

    4、报名方式及截止时间:

    报名方式:将报名信息(公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间:2021年 4月21日17时。

    5、竞价会时间及方式:

    时间:2021年4月22日;方式:鉴于疫情影响,采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

    6、参加竞价会所需提供材料:

    4月21日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄至以下地址:

    地址:北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆

    柳洋 老师收,手机号:18701363677

    7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

    柳洋 老师,邮箱:liuyang_me@buaa.edu.cn

    8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):

    邵老师,bhsme@buaa.edu.cn或010-82316712(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)

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